高橋 一郎 | 東北大学未来科学技術共同研究センター

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概要

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• 東北大学未来科学技術共同研究センターの論文著者

関連著者

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 須川 成利

  東北大学 大学院 工学研究科

• 須川 成利

  東北大学大学院工学研究科

• 平山 昌樹

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 高橋 一郎

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学共同センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学共同センター

• 山下 哲

  東北大未来科学技術共同研究センター

• 後藤 哲也

  東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業創製研究部門

• 白井 泰雪

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 山下 哲

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 船岩 清

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 安曇 啓太

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 磯貝 達典

  東北大学大学院工学研究科技術社会システム専攻

• 桜井 弘之

  宇部興産株式会社

• Ohmi T

  Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn

• 白井 泰雪

  東北大未来科学技術共同研究センター

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著作論文

• マイクロ波励起プラズマ有機金属化学気相堆積装置の開発と強誘電体Sr_2(Ta_,Nb_x)_2O_7膜の形成(不揮発性メモリ及び関連プロセス一般)
• 原子状酸素を用いた酸化処理による強誘電体STN薄膜の特性改善(プロセスクリーン化と新プロセス技術)

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