大規模アレイTEGを用いたランダム・テレグラフ・シグナルの統計的評価(プロセス科学と新プロセス技術)
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概要
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非常に多数のMOSFETについて,それらの電気的特性及びランダム・テレグラフ・シグナル(RTS)特性を短時間で測定可能なTEGを開発し,これを用いたRTSの統計的な評価手法を提案する.この評価手法により,これまで発見が難しかったRTSの挙動を示すMOSFETを容易に探索することが可能となり,RTSノイズ評価に必要な時間を大幅に削減できる.この評価手法を用いた解析からRTSの出現頻度とノイズ強度はゲートサイズの縮小に伴って増大することがわかった.また,RTS出現頻度とノイズ強度は,ドレイン電流,バックゲートバイアス電圧に大きく依存して変化することがわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-09-27
著者
-
寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
須川 成利
東北大学 大学院 工学研究科
-
須川 成利
東北大学大学院工学研究科
-
阿部 健一
東北大学大学院工学研究科 電気・通信工学専攻
-
阿部 健一
日本大学工学部情報工学科
-
阿部 健一
東北大学大学院工学研究科
-
阿部 健一
東北大
-
渡部 俊一
東北大学大学院工学研究科
-
黒田 理人
東北大学大学院工学研究科技術社会システム専攻
-
黒田 理人
東北大学工学研究科
-
阿部 健一
東北大学大学院工学研究科技術社会システム専攻
-
阿部 健一
東北大 大学院工学研究科
-
阿部 健一
東北大学工学部電気系
-
阿部 健一
東北大学工学部電気工学科
-
黒田 理人
東北大学大学院工学研究科
-
Ohmi T
Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn
-
阿部 健一
東北大学大学院
-
寺本 章伸
東北大学未来科学共同センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
-
須川 成利
東北大学大学院 工学研究科
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