シリコン表面の水素終端処理プロセスに関する計算化学的検討(<特集>プロセスクリーン化と新プロセス技術)
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概要
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我々はすでに従来の第一原理分子動力学法に比較して5000倍高速化した、独自のtight-binding近似に基づ<高速化量子分子動力学法プログラムColorsの開発に成功してきた。本研究ではシリコン表面の水素終端プロセスの解析にColorsプログラムを応用した。その結果、複雑な表面反応ダイナミクスの解析に本プログラムが非常に有効であることが示された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-10-14
著者
-
寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
-
磯田 直征
東北大学大学院工学研究科
-
佐々木 由美子
東北大学大学院工学研究科
-
菅原 健太郎
上智大学理工学部
-
遠藤 梨紗
東北大学大学院工学研究科
-
内田 晶子
東北大学大学院工学研究科
-
千葉 景子
東北大学大学院工学研究科
-
菅原 健太郎
東北大学大学院工学研究科
-
千田 朝子
東北大学大学院工学研究科
-
松浦 純
東北大学大学院工学研究科
-
篠田 克己
東北大学大学院工学研究科
-
伊賀 英樹
東北大学大学院工学研究科
-
横須賀 俊之
東北大学大学院工学研究科
-
今村 詮
広島国際学院大学工学部
-
二井 啓一
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
今村 詮
広島国際学院大学
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
千葉 景子
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
寺本 章伸
東北大学未来科学共同センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
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