横須賀 俊之 | 東北大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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横須賀 俊之
東北大学大学院工学研究科
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久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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久保 百司
東北大学大学院工学研究科
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今村 詮
広島国際学院大学工学部
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今村 詮
広島国際学院大学
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宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
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篠田 克己
東北大学大学院工学研究科
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高見 誠一
東北大学大学院工学研究科
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遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
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磯田 直征
東北大学大学院工学研究科
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黒川 仁
東北大学大学院工学研究科
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黒川 仁
東北大学大学院工学研究科材料化学専攻
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草谷 友規
東北大学大学院工学研究科
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草谷 友規
東北大学大学院工学研究科材料化学専攻
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佐々木 由美子
東北大学大学院工学研究科
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菅原 健太郎
上智大学理工学部
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遠藤 梨紗
東北大学大学院工学研究科
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内田 晶子
東北大学大学院工学研究科
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千葉 景子
東北大学大学院工学研究科
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菅原 健太郎
東北大学大学院工学研究科
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千田 朝子
東北大学大学院工学研究科
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松浦 純
東北大学大学院工学研究科
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伊賀 英樹
東北大学大学院工学研究科
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鈴木 研
東北大学大学院工学研究科
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千葉 景子
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
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宮本 明
東北大学未来科学技術共同研究センター
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三浦 隆治
東北大
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鈴木 研
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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三浦 隆治
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
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三浦 隆治
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
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宮本 明
東北大学未来科学共同研究センター:東北大学大学院工学研究科化学工学専攻:東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
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寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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二井 啓一
東北大学未来科学技術共同研究センター
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加納 正明
(株)東芝 生産技術センター
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藪原 秀彦
(株)東芝 生産技術センター
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寺本 章伸
東北大学未来科学共同センター
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大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
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高塚 威
新日本空調(株)技術開発研究所
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宮本 明
東北大学工学研究科
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久保 百司
東北大学工学部分子化学工学科
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宮本 明
東北大学工学部
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牧野 伸顕
(株)東芝生産技術研究所
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新村 忠
(株)東芝 生産技術センター
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牧野 伸顕
(株)東芝生産技術センター
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高見 誠一
東北大学工学研究科
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横須賀 俊之
東北大学工学研究科
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黒川 仁
東北大学工学研究科
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草谷 友規
東北大学工学研究科
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鈴木 研
東北大学工学研究科
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瀬田 秀行
東北大学大学院工学研究科 材料化学専攻 宮本研究室
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高塚 威
新日本空調株式会社 技術開発研究所
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高塚 威
新日本空調
著作論文
- 半導体材料の電気伝導度に関する計算化学的検討
- シリコン表面の水素終端処理プロセスに関する計算化学的検討
- シリコン表面の高速化量子分子動力学法による大規模電子状態計算
- シリコン表面の水素終端処理プロセスに関する計算化学的検討(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- シリコン表面の高速化量子分子動力学法による大規模電子状態計算(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- CMPプロセス解析のための新規プログラムの開発
- 高速化量子分子動力学法のプラズマ反応ダイナミクス解析への応用
- 高速化量子分子動力学法による粒子の生成・成長過程のシミュレーション
- 計算化学を用いたナノ粒子の挙動解明
- エレクトロニクス材料の結晶成長シミュレーション
- 高速化量子分子動力学法の電気・電子分野への応用
- 高速化量子分子動力学法によるSiGeのバンド構造解析
- 高速化量子分子動力学法によるCu-CMPプロセスの解析
- フルオロカーボンプラズマのSiO_2表面における反応ダイナミクスに関する計算化学的検討
- 高速化量子分子動力学法による塩素プラズマエッチング過程の解析
- 高速化量子分子動力学法によるシリコンプラズマ酸化過程の検討
- 高速化量子分子動力学法の開発とシリコン系材料への応用
- CMP過程に関する計算化学的検討
- シリコンウェハ汚染に関する計算化学的検討