電気透析法を用いた使用済み現像液の再生・再利用技術
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概要
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半導体・液晶製造では現像液として、高純度の水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)水溶液が使用されている。これまでは使い捨てにされていた現像廃液から、電気透析法を用いてTMAHを回収し、イオン交換法により精製することで現像液として再生・再利用するシステムを開発した。再生現像液の純度は新液と同等であった。更に、本実験では回収率が80%以上と高く、半導体製造工場モデルの試算結果は、従来法に比べて66.2%のランニングコスト削減となった。したがって、本システムは環境負荷低減だけではなく、ランニングコスト削減にも大きく寄与することができる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-10-09
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