小坂 光二 | 熊本大学
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概要
関連著者
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小坂 光二
熊本大学
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久保田 弘
熊本大学
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久保田 弘
熊本大学大学院自然科学研究科
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久保田 弘
熊本大学自然科学研究科
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久保田 弘
熊本大学工学部
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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大石 潔
長岡技術科学大学
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大見 忠弘
東北大学
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橋本 誠司
群馬大学
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橋本 誠司
群馬大学 工学部
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中田 明良
熊本大学大学院自然科学研究科
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小坂 哲也
有限会社熊本テクノロジー
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小坂 光二
熊本大学大学院自然科学研究科
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江崎 義也
熊本大学大学院自然科学研究科
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江頭 義也
熊本大 大学院自然科学研究科
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小坂 哲也
熊本テクノロジー
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石川 赴夫
群馬大学
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石川 赴夫
群馬大学大学院工学研究科電気電子工学専攻
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岩渕 哲也
有限会社熊本テクノロジー
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永本 恵市
熊本大学大学院自然科学研究科
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橋口 弘幸
熊本大学工学部
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遠藤 泰史
熊本大学大学院自然科学研究科
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小坂 光二
熊本テクノロジー
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橋口 弘幸
熊本大学大学院自然科学研究科
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馬場 哲郎
株式会社東京テクノロジー
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江頭 義也
熊本大学大学院自然科学研究科
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宗 勇樹
熊本大学自然科学研究科
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小坂 光二
株式会社ピーエムティー
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高田 雅介
長岡技術科学大学電気系
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高田 雅介
長岡技科大
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大石 卓也
群馬大学
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上村 篤嗣
長岡技術科学大学
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荒尾 淳
(株)アラオ
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小坂 哲也
(有)熊本テクノロジー
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小坂 光二
有限会社熊本テクノロジー
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江頭 義也
有限会社熊本テクノロジー
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居村 史人
熊本大学大学院自然科学研究科
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居村 史人
独立行政法人産業技術総合研究所
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宗 勇樹
熊本大学大学院自然科学研究科
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松川 誠也
熊本大学大学院自然科学研究科
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京谷 忠幸
株式会社ピーエムティー
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高田 雅介
長岡技術科学大学
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野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
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野中 源一郎
九州大学薬学部
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京谷 忠幸
(株)ピーエムティ
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久保田 弘
熊大院自
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黒川 敬幸
群馬大学
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小坂 光二
テックコンシエルジェ熊本
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遠藤 泰史
熊本大学工学部
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高田 真次
有限会社熊本テクノロジー
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ジョング ミンニョク
長岡技術科学大学
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小坂 光二
テック・コンシェルジェ熊本
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チョング ニョク
長岡技術科学大学
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居村 史人
熊本大学
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板倉 敬二郎
熊本大学
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小坂 光二
(有)熊本テクノロジー
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森本 達郎
(財)くまもとテクノ産業財団
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赤道 孝之
熊本大学
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松岡 真二
熊本大学
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中村 一光
(財)くまもとテクノ産業財団
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井口 恒夫
ソニーセミコンダクタ九州(株)
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内野 博介
(株)プレシード
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藤井 敏夫
テクノス(株)
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山川 孝宏
太平洋セメント株式会社
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馬場 哲郎
有限会社熊本テクノロジー
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馬場 哲郎
熊本大学大学院自然科学研究所
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岩渕 哲也
(有)熊本テクノロジー
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加納 竹志
株式会社東京テクノロジー
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荒尾 淳
株式会社アラオ
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宗 勇樹
熊大院自
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中村 一光
くまもとテクノ産業財団
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藤井 敏夫
テクノス株式会社
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山川 孝宏
太平洋セメント(株)清澄研究所
著作論文
- 非共振型超音波アクチュエータ駆動精密ステージの位置決め制御における摩擦補償法
- スティックスリップ補償と連続軌跡追従制御に基づく超音波アクチュエータ駆動精密ステージの一制御法
- 適応オブザーバに基づく次世代露光装置用超精密ステージの静止摩擦補償法
- SPIDER駆動精密ステージの位置決め制御における実験的摩擦補償法
- アンチ･ワインドアップ補償による高速I-P位置制御系の一構成法
- 摩擦モデルに基づく非共振型超音波アクチュエータ駆動精密ステージの一制御法
- 615 非共振型超音波モータを用いた精密ステージの高速モーション制御
- 非共振型超音波モータを用いた精密ステージの連続軌跡追従制御系の構成法
- SC-12-4 Development of Nano-Probing System for Metallization-Free Measurement
- C-11-5 Development of Reticle Free Exposure System
- 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発(第8報)
- 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発 : (第7報)非共振型超音波モータの微動特性
- 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発 : (第6報)積層型圧電アクチュエータの動特性
- 高速超精密ステージ用非共振型超音波モータの開発 : 予圧機構とステージ駆動性能(第5報)
- 非共振型超音波モータを用いたナノマニピュレータの性能評価
- 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発:第3報
- 主要記事 半導体製造技術の超精密技術を応用して開発したナノマニピュレータ
- 1Pb-47 非共振型超音波モータの周波数制御低摩耗駆動(ポスターセッション)
- 次世代LSIプロセス・材料開発に活きる超精密製造・計測技術開発 : 光技術と精密機械技術の協働による次世代原子スケール生産技術開拓(招待講演,異種デバイス集積化/高密度実装技術,デザインガイア2011-VLSI設計の新しい大地-)
- 次世代LSIプロセス・材料開発に活きる超精密製造・計測技術開発 : 光技術と精密機械技術の協働による次世代原子スケール生産技術開拓(招待講演,異種デバイス集積化/高密度実装技術,デザインガイア2011-VLSI設計の新しい大地-)