高速超精密ステージ用非共振型超音波モータの開発 : 予圧機構とステージ駆動性能(第5報)
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概要
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- 2002-10-01
著者
-
久保田 弘
熊本大学大学院自然科学研究科
-
小坂 光二
熊本大学
-
久保田 弘
熊本大学自然科学研究科
-
中田 明良
熊本大学大学院自然科学研究科
-
岩渕 哲也
有限会社熊本テクノロジー
-
小坂 哲也
有限会社熊本テクノロジー
-
永本 恵市
熊本大学大学院自然科学研究科
-
橋口 弘幸
熊本大学工学部
-
江頭 義也
熊本大学大学院自然科学研究科
-
橋口 弘幸
熊本大学大学院自然科学研究科
-
遠藤 泰史
熊本大学大学院自然科学研究科
-
小坂 哲也
(有)熊本テクノロジー
-
小坂 光二
熊本大学大学院自然科学研究科
-
岩渕 哲也
(有)熊本テクノロジー
-
江崎 義也
熊本大学大学院自然科学研究科
-
江頭 義也
熊本大 大学院自然科学研究科
-
小坂 哲也
熊本テクノロジー
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