C-11-3 バーンインフリー及びプロセス温度評価のためのTEG(C-11.シリコン材料・デバイス,一般セッション)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2009-03-04

著者

• 久保田 弘

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 久保田 弘

  熊本大学自然科学研究科

• 溝上 隆之

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 吉岡 昌雄

  熊本大学工学部

• 塩津 啓介

  熊本大学大学院自然科学研究科

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