次世代LSIプロセス・材料開発に生きる超精密製造・計測技術開発 : 光技術と精密機械技術の協働による次世代原子スケール生産技術開拓(<特集>LSIと高密度実装から見た異種機能集積技術への期待と課題招待論文)
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概要
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熊本大学を中心に熊本地域で開発した非共振型超音波モータ技術は,削りかすやパーティクルの出ない超精密長寿命性能の超音波モータを実現させ,半導体等の精密製造・計測技術に新たな革命をもたらした.その量産技術への代表的な応用例として,触覚センサープロセス,グラフェン新材料開発,原子レベル酸化超薄膜欠陥検査について紹介し,次世代LSIプロセス・材料開発における日本の科学技術の方向性を示したい.
- 2012-08-01
著者
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