次世代LSIプロセス・材料開発に活きる超精密製造・計測技術開発 : 光技術と精密機械技術の協働による次世代原子スケール生産技術開拓

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概要

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• 2011-11-21

著者

• 久保田 弘

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 宗 勇樹

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 小坂 光二

  株式会社ピーエムティー

• 松川 誠也

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 京谷 忠幸

  株式会社ピーエムティー

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