市村 正也 | 名古屋工業大学、機能工学専攻
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概要
関連著者
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市村 正也
名古屋工業大学、機能工学専攻
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市村 正也
名古屋工業大学機能工学専攻
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市村 正也
名古屋工業大学
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荒井 英輔
名古屋工業大学
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荒井 英輔
名古屋工業大学大学院工学研究科
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加藤 正史
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内田 秀雄
名古屋工業大学電気情報工学科
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市村 正也
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
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市村 正也
名古屋工業大学大学院工学研究科
著作論文
- マイクロ波光導電減衰法によるp型4H-SiCエピタキシャル膜の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- SIMOXとUNIBOND構造に対するボロンの極浅拡散
- 最新鋭の半導体工場
- SOIとバルクにおけるPとBの拡散プロファイルの比較検討(半導体Si及び関連電子材料評価)
- 格子不整の大きなGaAs上In_xGa_1-x>As(0.2x≦1)の液相成長
- マイクロ波光導電減衰法によるp型4H-SiCエピタキシャル膜の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- マイクロ波光導電減衰法によるp型4H-SiCエピタキシャル膜の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 光化学堆積法を用いたZnS薄膜の作製と評価(III族窒化物研究の最前線)
- パルス電圧を用いた電気化学堆積法によるSnS薄膜の作製とその評価(III族窒化物研究の最前線)
- 光化学堆積法を用いたZnS薄膜の作製と評価(III族窒化物研究の最前線)