牧野 貴紀 | 名古屋工業大学電気情報工学科
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概要
関連著者
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市村 正也
名古屋工業大学機能工学専攻
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宇佐美 晶
名古屋工業大学電気情報工学科
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牧野 貴紀
名古屋工業大学電気情報工学科
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宇佐美 晶
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市村 正也
名古屋工業大学、機能工学専攻
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名古屋工業大学
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宇佐 美晶
名古屋工業大学電気情報工学科
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吉田 英朗
名古屋工業大学電気情報工学科
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古賀 祥泰
名古屋工業大学
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浅倉 英樹
名古屋工業大学電気情報工学科
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森田 悦郎
三菱マテリアルシリコン
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田尻 寛享
名古屋工業大学電気情報工学科
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森田 祥嗣
名古屋工業大学電気情報工学科
著作論文
- 窒素レーザを用いた反射マイクロ波法による薄膜SOIの評価
- 金属/シリコン界面の再結合状態の非接触評価
- 光導電減衰法による3C-SiC/Siの評価
- イオン注入層を表面にもつSiウェーハの表面再結合状態の非接触評価