吉田 英朗 | 名古屋工業大学電気情報工学科

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概要

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• 吉田 英朗

  名古屋工業大学電気情報工学科

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著作論文

• イオン注入層を表面にもつSiウェーハの表面再結合状態の非接触評価
• RTPを施したSOI基板及びPINホトダイオードの特性評価 : DLTS測定を中心として
• Si^+イオン注入によるGaAsの表面再結合特性の改善 : レーザ/マイクロ波非接触評価を中心として

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