住江 伸吾 | 神戸製鋼所 プロセス技研

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概要

• 同名の論文著者
• 神戸製鋼所 プロセス技研の論文著者

関連著者

• 住江 伸吾

  神戸製鋼所 プロセス技研

• 住江 伸吾

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 荒井 英輔

  名古屋工業大学大学院工学研究科

• 橋爪 英久

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 荒井 英輔

  名古屋工業大学

• 市村 正也

  名古屋工業大学機能工学専攻

• 高松 弘行

  神戸製鋼所 電子技研

• 高松 弘行

  (株)神戸製鋼所

• 市村 正也

  名古屋工業大学、機能工学専攻

• 市村 正也

  名古屋工業大学

• 加藤 正史

  名古屋工業大学

• 森 健洋

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 平野 昌志

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 住江 伸吾

  (株)神戸製鋼所

• 吉田 尚幸

  (株)神戸製鋼所 電子情報研究所

• 川田 豊

  (株)神戸製鋼所電子技術研究所

• 高松 弘行

  株式会社神戸製鋼所

• 加藤 直樹

  株式会社 日立製作所 中央研究所

• 森本 勉

  株式会社神戸製鋼所

• 加藤 直樹

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 市村 正也

  共同研究センター

• 綱木 英俊

  (株)神戸製鋼所 電子情報研究所

• 橋爪 英久

  ジェネシス・テクノロジー株式会社 レオ事業本部

• 尾嶋 太

  ジェネシス・テクノロジー株式会社 レオ事業本部

• 射場 邦夫

  ジェネシス・テクノロジー株式会社 レオ事業本部

• 吉田 尚幸

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部 プロセス技術研究所

• 住江 伸吾

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部 プロセス技術研究所

• 森本 勉

  (株)神戸製鋼所

• 綱木 英俊

  (株)レオ技研

• 平尾 祐司

  (株)レオ技研

• 森岡 哲隆

  (株)レオ技研

• 加藤 直樹

  日立 中研

• 川田 豊

  (株)神戸製鋼所

• 多田 篤志

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 高松 弘行

  (株) 神戸製鋼所

• 住江 信吾

  (株) 神戸製鋼所

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著作論文

• 反射μ波光導電減衰法での外部電解による表面再結合の制御
• 差動マイクロPCD法によるエピウェーハの高感度ライフタイム測定
• 光熱変位レーザ干渉計によるシリコンのダメージ評価
• 化学溶液処理を施したSiウェハ表面の電界印加μ-PCD法による表面状態の評価(半導体Si及び関連電子材料評価)
• SiCウェハの過剰キャリアライフタイム測定と構造欠陥分布との比較(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
• SiCウェハの過剰キャリアライフタイム測定と構造欠陥分布との比較(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
• SiCウェハの過剰キャリアライフタイム測定と構造欠陥分布との比較(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
• ウェハのエッジ・ノッチ形状の測定装置

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