住江 伸吾 | 名古屋工業大学電気情報工学科

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概要

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• 名古屋工業大学電気情報工学科の論文著者

関連著者

• 住江 伸吾

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 住江 伸吾

  神戸製鋼所 プロセス技研

• 荒井 英輔

  名古屋工業大学大学院工学研究科

• 荒井 英輔

  名古屋工業大学

• 市村 正也

  名古屋工業大学機能工学専攻

• 橋爪 英久

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 市村 正也

  名古屋工業大学、機能工学専攻

• 市村 正也

  名古屋工業大学

• 加藤 正史

  名古屋工業大学

• 森 健洋

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 平野 昌志

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 高松 弘行

  神戸製鋼所 電子技研

• 高松 弘行

  (株)神戸製鋼所

• 加藤 直樹

  株式会社 日立製作所 中央研究所

• 加藤 直樹

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 市村 正也

  共同研究センター

• 住江 伸吾

  (株)神戸製鋼所

• 加藤 直樹

  日立 中研

• 多田 篤志

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 高松 弘行

  (株) 神戸製鋼所

• 住江 信吾

  (株) 神戸製鋼所

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著作論文

• 反射μ波光導電減衰法での外部電解による表面再結合の制御
• 化学溶液処理を施したSiウェハ表面の電界印加μ-PCD法による表面状態の評価(半導体Si及び関連電子材料評価)
• SiCウェハの過剰キャリアライフタイム測定と構造欠陥分布との比較(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
• SiCウェハの過剰キャリアライフタイム測定と構造欠陥分布との比較(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
• SiCウェハの過剰キャリアライフタイム測定と構造欠陥分布との比較(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
• ウェハのエッジ・ノッチ形状の測定装置

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