差動マイクロPCD法によるエピウェーハの高感度ライフタイム測定

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概要

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• 差動マイクロ PCD(Photo-Conductive-Decay)法による新しいライフタイム測定装置を開発し、低抵抗率サブストレートのエピウェーハの汚染評価を行った。その結果、測定したライフタイムとエピ層のモリプデン濃度には良好な相関関係があることかわかった。また、エピ層の1O^<11>/cm^3以下の鉄濃度を検出できることを確認した。さらに、熱酸化したエピウェーハのライフタイムマッピングにより、エピ層の汚染が明瞭に検出できた。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1997-05-23

著者

• 高松 弘行

  株式会社神戸製鋼所

• 高松 弘行

  神戸製鋼所 電子技研

• 高松 弘行

  (株)神戸製鋼所

• 吉田 尚幸

  (株)神戸製鋼所 電子情報研究所

• 橋爪 英久

  ジェネシス・テクノロジー株式会社 レオ事業本部

• 尾嶋 太

  ジェネシス・テクノロジー株式会社 レオ事業本部

• 射場 邦夫

  ジェネシス・テクノロジー株式会社 レオ事業本部

• 吉田 尚幸

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部 プロセス技術研究所

• 住江 伸吾

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部 プロセス技術研究所

• 橋爪 英久

  名古屋工業大学電気情報工学科

• 住江 伸吾

  神戸製鋼所 プロセス技研

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