光化学堆積SnO_2薄膜を用いた小型携帯式水素センサの試作(センサ,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))

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概要

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光化学堆積(PCD)法を用いて不純物ドーピングありとなしのSnO_2薄膜を作製し、高感度の室温動作水素ガスセンサを作製した。堆積溶液を基板上に垂らし、そこへ超高圧水銀ランプの光を照射することでSnO_2薄膜を作製した。堆積された薄膜に光照射Pd処理を施し、アニールすることで水素ガスセンサを作製した。不純物ドーピングありとなしの試料とも水素(5%H_2+Ar(0.1atm))に対し10^3以上の抵抗減少率を示した。さらに作製された試料をポケットテスターと組み合わせることにより小型携帯式水素検出器の作製を試み、その応答を確認した。
2012-05-10

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