光化学堆積法による室温動作水素ガスセンサの作製と評価

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概要

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• 光化学堆積(PCD)法を用いてSn0_2薄膜を作製し、室温動作水素ガスセンサの作製した。SnSO_4を含む水溶液に超高圧水銀ランプの光を照射することでSnO_2薄膜を作製した。作製されたSnO_2薄膜に光照射Pd処理を施し、アニールすることで水素ガスセンサを作製した。作製したガスセンサは室温にて水素に曝されると抵抗の大幅な減少を示した。一定電圧における電流変化は、真空中に比べ水素濃度50ppmで1×10^4倍、5000ppmで6X10^4倍だった。また、アニールの条件を変えることで電流の増加や反応速度、回復性能が大きく変化することが判明した。

• 2007-12-14

著者

• 市村 正也

  名古屋工業大学機能工学専攻

• 末吉 哲也

  名古屋工業大学大学院機能工学専攻

• 井浪 潤二

  名古屋工業大学大学院機能工学専攻

• 市村 正也

  名古屋工業大学、機能工学専攻

• 市村 正也

  名古屋工業大学

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