光化学堆積法を用いたZnS薄膜の作製と評価(<小特集>III族窒化物研究の最前線)
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概要
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S_2O_3^2-とZn^2+を含む水溶液から、光化学反応のみによりZnS薄膜をITO基板上に堆積させた。堆積された薄膜を表面粗さ計、走査型電子顕微鏡、分光光度計、オージェ電子分光法、ラマン分光法、X線回折法などを使用して評価した。堆積された薄膜は黒色を示した。溶液中のZn^2+濃度を減少させることでラマン測定においてZnSによるピークが微弱に観察された。このことから堆積された薄膜はアモルファスであり、ZnとS原子は完全に結合していなかったと思われる。またZn^2+の錯形成剤としてロッシェル塩を加えることにより、薄膜が白色または黄土色に堆積し透過率が非常に大きくなった。
- 2002-05-17
著者
-
小林 良平
(株)シクスオン
-
市村 正也
名古屋工業大学機能工学専攻
-
佐藤 直也
名古屋工業大学
-
荒井 英輔
名古屋工業大学大学院工学研究科
-
小林 良平
名古屋工業大学電気情報工学科
-
小林 良平
名古屋工業大学
-
荒井 英輔
名古屋工業大学
-
市村 正也
名古屋工業大学、機能工学専攻
-
市村 正也
名古屋工業大学
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