電気化学堆積法によるSnO_2薄膜の作製(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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電気化学堆積(ECD)法は安価な装置で薄膜の作製が可能であり、太陽電池作製の低コスト化が期待できる。我々は太陽電池の窓層や色素増感太陽電池として利用できるSnO_2薄膜を室温で堆積する実験を行った。ECD方法によるSnO_2薄膜の作製は今まであまり研究されていない。我々は硫酸スズ30mMを含む水溶液を用い、堆積中に酸素ガスをパブリングすることによって、室温において低いpH値(0.2〜0.6)領域でSnO_2の透明な薄膜の堆積に成功した。また溶液の攪拌およびパルス電圧印加の影響も調べた。光電気化学測定より、堆積した薄膜はn型であり、光導電性を持つことを確認できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-05-17
著者
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