光化学堆積(PCD)法によるZnO薄膜の作製と評価

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概要

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• 電子情報通信学会の論文
• 2005-05-19

著者

• 市村 正也

  名古屋工業大学機能工学専攻

• 東 雅紀

  名古屋工業大学

• 宮脇 哲哉

  名古屋工業大学

• 市村 正也

  名古屋工業大学、機能工学専攻

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