硫酸ガリウム水溶液からの酸化ガリウムの電解析出(酸化物(成膜・評価).電子源,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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硫酸ガリウム水溶液に少量のNa_2S_2O_3とH_2O_2.を加えた水溶液から電解析出によって酸化ガリウム薄膜を堆積し、堆積電圧、溶液組成、堆積時間などの諸パラメータが堆積膜の性質に与える影響を調べた。オージェ電子分光により組成を評価した。堆積膜は酸素過剰組成であり、少量の硫黄を含むことがある。光電気化学測定により、堆積膜がn型の伝導性と光伝導性を持つことが示された。
- 2012-05-10
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