吉田 敦史 | 名古屋工業大学大学院工学研究科

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概要

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• 同名の論文著者
• 名古屋工業大学大学院工学研究科の論文著者

関連著者

• 加藤 正史

  名古屋工業大学

• 市村 正也

  名古屋工業大学機能工学専攻

• 市村 正也

  名工大

• 吉田 敦史

  名古屋工業大学大学院工学研究科

• 市村 正也

  名古屋工業大学、機能工学専攻

• 加藤 正史

  名古屋工業大学大学院機能工学専攻

• 市村 正也

  名古屋工業大学大学院工学研究科

• 市村 正也

  名古屋工業大学

• 市村 正也

  名古屋工業大学大学院機能工学専攻

著作論文

• 3C-SiCウェハーにおける歪み領域とキャリアライフタイムマップの相関性評価(SiC,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
• 自立n型4H-SiCエピ膜におけるキャリアライフタイムのエピ厚および表面依存性(SiC,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
• 3C-SiCウェハーにおける歪み領域とキャリアライフタイムマップの相関性評価(SiC,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
• 自立n型4H-SiCエピ膜におけるキャリアライフタイムのエピ厚および表面依存性(SiC,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
• 3C-SiCウェハーにおける歪み領域とキャリアライフタイムマップの相関性評価(SiC,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
• 自立n型4H-SiCエピ膜におけるキャリアライフタイムのエピ厚および表面依存性(SiC,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))

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