C-6-18 TDEAV原料を用いたALD-VN_x膜の作製(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-03-04
著者
-
武山 真弓
北見工業大学電気電子工学科
-
野矢 厚
北見工業大学工学部電気電子工学科
-
町田 英明
気相成長(株)
-
佐藤 勝
北見工業大学電気電子工学科
-
大立目 晋
北見工業大学電気電子工学科
-
武山 眞弓
北見工業大学電気電子工学科
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野矢 厚
北見工業大学電気電子工学科
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武山 真弓
北見工業大学工学部電気電子工学科
-
野矢 厚
北見工業大学工学部
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武山 真弓
北見工業大学工学部
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武山 真弓
北見工業大学
-
野矢 厚
北見工業大学
-
佐藤 勝
北見工業大学
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