組成を変化させたZrBx薄膜の特性評価 (電子部品・材料)

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概要

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• 電子情報通信学会の論文
• 2011-08-10

著者

• 武山 真弓

  北見工業大学電気電子工学科

• 佐藤 勝

  北見工業大学電気電子工学科

• 野矢 厚

  北見工業大学電気電子工学科

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