Cu/metal/SiO/Si構造における界面での拡散・反応挙動(1)Va遷移金属の拡散挙動 (電子部品・材料)

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概要

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• 2012-10-26

著者

• 武山 真弓

  北見工業大学電気電子工学科

• 野矢 厚

  北見工業大学電気電子工学科

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