CuTi_2金属間化合物膜の作製とCu/CuTi_2/Siコンタクト構造への適用
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概要
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- 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティの論文
- 1992-09-25
著者
-
佐々木 貴啓
富士通株式会社
-
吉本 健一
旭川工業高等専門学校
-
野矢 厚
北見工業大学工学部電気電子工学科
-
佐々木 克孝
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
佐々木 貴啓
北見工業大学工学部電子工学科
-
佐々木 貴啓
鳥取大学工学部附属電子ディスプレイ研究センター(tedrec):シャープ株式会社モバイル液晶事業本部
-
佐々木 克孝
北見工業大学
-
野矢 厚
北見工業大学工学部
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