メタルゲート/HfSiONゲート絶縁膜ゲートスタックにおけるピニング現象の改善策検討
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概要
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- 2007-07-12
著者
-
白石 賢二
筑波大学数理物質科学研究科
-
宮崎 誠一
広島大学大学院 先端物質科学研究科
-
奈良 安雄
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
-
山田 啓作
早稲田大学ナノテクノロジー研究所
-
知京 豊裕
物材機構
-
渡部 平司
大阪大学
-
知京 豊裕
(独)物質・材料研究機構
-
松木 武雄
半導体先端テクノロジーズ(selete)
-
大田 晃生
広島大学大学院先端物質科学研究科
-
奈良 安雄
(株)富士通研究所 Ulsi研究部門
-
奈良 安雄
(株)半導体先端テクノロジーズ 第一研究部
-
宮崎 誠一
広大院先端研
-
知京 豊裕
金属材料技術研究所
-
宮崎 誠一
広島大学 工学部
-
門島 勝
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
青山 敬幸
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
大路 譲
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
杉田 義博
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
中島 清美
物質材料機構
-
知京 豊裕
物質材料機構
-
網中 敏夫
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
黒澤 悦男
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
松木 武雄
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
渡部 平司
大阪大学大学院工学研究科
-
大路 譲
(株)半導体先端テクノロジーズ(selete)
-
大路 譲
半導体先端テクノロジーズ
-
中島 清美
物質・材料研究機構
-
山田 啓作
筑波大学数理物質科学研究科
-
白石 賢二
筑波大学
-
網中 敏夫
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
-
知京 豊裕
物質・材料研究機構ナノマテリアル研/物質研
-
奈良 安雄
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
宮崎 誠一
広大
-
知京 豊裕
(独)物質・材料研究機構 半導体材料センター
-
宮崎 誠一
広島大学大学院先端物質科学研究科
-
大路 譲
半導体先端テクノロジーズ(selete)
-
CHIKYOW T.
National Institute of Materials Science
-
山田 啓作
筑波大学大学院数理物質科学研究科
-
門島 勝
ルネサステクノロジ
-
山田 啓作
早稲田大学:筑波大学
-
山田 啓作
筑波大学大学院数理物質科学研究科:JST-CREST
-
大田 晃生
広島大学 大学院先端物質科学研究科
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