Ru-Mo合金を用いた金属/high-k 絶縁膜ゲートスタックの実効仕事関数制御
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概要
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- 2008-05-14
著者
-
白石 賢二
筑波大学数理物質科学研究科
-
山部 紀久夫
筑波大学数理物質科学研究科
-
奈良 安雄
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
-
山田 啓作
早稲田大学ナノテクノロジー研究所
-
知京 豊裕
物材機構
-
渡部 平司
大阪大学
-
知京 豊裕
物質・材料研究機構 半導体材料センター
-
知京 豊裕
(独)物質・材料研究機構
-
細井 卓治
大阪大学
-
奈良 安雄
(株)富士通研究所 Ulsi研究部門
-
奈良 安雄
(株)半導体先端テクノロジーズ 第一研究部
-
白石 賢二
筑波大院数物
-
足立 哲也
物質・材料研究機構
-
知京 豊裕
金属材料技術研究所
-
大路 譲
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
渡部 平司
大阪大学大学院工学研究科
-
大路 譲
(株)半導体先端テクノロジーズ(selete)
-
大路 譲
半導体先端テクノロジーズ
-
山部 紀久夫
筑波大学
-
大毛利 健治
早稲田大学
-
中島 清美
物質・材料研究機構
-
石川 恵子
物質・材料研究機構
-
杉田 義博
半導体先端テクノロジーズ
-
山田 啓作
筑波大学数理物質科学研究科
-
白石 賢二
筑波大学
-
細井 卓治
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
-
知京 豊裕
物質・材料研究機構
-
知京 豊裕
物質・材料研究機構ナノマテリアル研/物質研
-
大毛利 健治
早稲田大学ナノ理工学研究機構
-
細井 卓治
大阪大学大学院工学研究科
-
知京 豊裕
(独)物質・材料研究機構 半導体材料センター
-
CHIKYOW T.
National Institute of Materials Science
-
山田 啓作
筑波大学大学院数理物質科学研究科
-
知京 豊裕
物材機構:comet-nims:科技機構戦略
-
大毛利 健治
早稲田大学ナノ理工学研究機構ナノテクノロジー研究所
-
山田 啓作
早稲田大学:筑波大学
-
山田 啓作
筑波大学大学院数理物質科学研究科:JST-CREST
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