Guiding Principle of Energy Level Controllability of Silicon Dangling Bond in HfSiON

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概要

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• 2006-09-13

著者

• 知京 豊裕

  物材機構

• 知京 豊裕

  (独)物質・材料研究機構

• Miyazaki Seiichi

  Graduate School of Advanced Sciences of Matter, Hiroshima University

• 赤坂 泰志

  東京エレクトロン株式会社

• Nara Y.

  Semiconductor Leading Edge Technology Inc.

• 知京 豊裕

  金属材料技術研究所

• 山田 啓作

  筑波大学数理物質科学研究科

• 白石 賢二

  筑波大学

• 大毛利 健治

  早稲田大学ナノ理工学研究機構

• Miyazaki S

  Hiroshima Univ. Higashi‐hiroshima Jpn

• Miyazaki Seiichi

  Dept. Of Electrical Engineering Hiroshima University

• 知京 豊裕

  (独)物質・材料研究機構 半導体材料センター

• Miyazaki Seiichi

  Faculty Of Engineering Hiroshima University

• SHIRAISHI K.

  Graduate School of Pure and Applied Sciences, Univ. of Tsukuba

• AKASAKA Y.

  Semiconductor Leading Edge Technology Inc.

• CHIKYOW T.

  National Institute of Materials Science

• YAMABE K.

  Graduate School of Pure and Applied Sciences, Univ. of Tsukuba

• YAMADA K.

  Nanotechnology Research Laboratories, Waseda University

• INUMIYA S.

  Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc. (Selete)

• UMEZAWA N.

  Advanced Electronic Materials Center, National Institute for Materials Science

• MIYAZAKI S.

  Graduate School of Advanced Sciences of Matter, Hiroshima Univ.

• UEDONO A.

  Graduate School of Pure and Applied Sciences, Univ. of Tsukuba

• HASUNUMA R.

  Graduate School of Pure and Applied Sciences, Univ. of Tsukuba

• MOMIDA H.

  Computational Materials Science Center, National Institute for Materials Science

• OHNO T.

  Computational Materials Science Center, National Institute for Materials Science

• OHMORI K.

  Advanced Electronic Materials Center, National Institute for Materials Science

• CHIKYOW T.

  Advanced Electronic Materials Center, National Institute for Materials Science

• NARA Y.

  Selete

• Murakami H.

  Graduate School of Advanced Sciences of Matter, Hiroshima University

• 山田 啓作

  筑波大学大学院数理物質科学研究科

• Miyazaki S

  Department Of Electrical Engineering Hiroshima University

• Murakami H

  Graduate School Of Advanced Sciences Of Matter Hiroshima University

• Uedono A.

  Graduate School Of Pure And Applied Sciences Univ. Of Tsukuba

• Inumiya S.

  Semicondutor Leading Edge Technologies Inc.

• 大毛利 健治

  早稲田大学ナノ理工学研究機構ナノテクノロジー研究所

• Miyazaki S

  Graduate School Of Advanced Sciences Of Matter Hiroshima University

• Yamabe K.

  Graduate School Of Pure And Applied Sciences Univ. Of Tsukuba

• Hasunuma R.

  Graduate School Of Pure And Applied Sciences Univ. Of Tsukuba

• Umezawa N.

  Advanced Electronic Materials Center National Institute For Materials Science

• Shiraishi K.

  Graduate School Of Pure And Applied Sciences Univ. Of Tsukuba

• Akasaka Y.

  Semiconductor Leading Edge Technologies Inc. (selete)

• 山田 啓作

  筑波大学大学院数理物質科学研究科:JST-CREST

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