低エネルギー集束イオンビームによるGaAs微細構造の作製

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概要

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• 1997-09-09

著者

• 知京 豊裕

  (独)物質・材料研究機構

• 知京 豊裕

  金属材料技術研究所

• 小口 信行

  物質・材料研究機構

• 小口 信行

  金属材料技術研究所極高真空場ステーション

• 知京 豊裕

  金材技研

• 小口 信行

  金属材料技術研究所

• 知京 豊裕

  (独)物質・材料研究機構 半導体材料センター

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