杉田 義博 | 半導体先端テクノロジーズ
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概要
関連著者
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白石 賢二
筑波大学数理物質科学研究科
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奈良 安雄
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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山田 啓作
早稲田大学ナノテクノロジー研究所
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知京 豊裕
物材機構
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知京 豊裕
(独)物質・材料研究機構
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奈良 安雄
(株)富士通研究所 Ulsi研究部門
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奈良 安雄
(株)半導体先端テクノロジーズ 第一研究部
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白石 賢二
筑波大院数物
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知京 豊裕
金属材料技術研究所
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大毛利 健治
早稲田大学
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杉田 義博
半導体先端テクノロジーズ
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山田 啓作
筑波大学数理物質科学研究科
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白石 賢二
筑波大学
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知京 豊裕
物質・材料研究機構ナノマテリアル研/物質研
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大毛利 健治
早稲田大学ナノ理工学研究機構
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知京 豊裕
(独)物質・材料研究機構 半導体材料センター
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CHIKYOW T.
National Institute of Materials Science
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山田 啓作
筑波大学大学院数理物質科学研究科
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知京 豊裕
物材機構:comet-nims:科技機構戦略
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大毛利 健治
早稲田大学ナノ理工学研究機構ナノテクノロジー研究所
-
山田 啓作
早稲田大学:筑波大学
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山田 啓作
筑波大学大学院数理物質科学研究科:JST-CREST
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山部 紀久夫
筑波大学数理物質科学研究科
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渡部 平司
大阪大学
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知京 豊裕
物質・材料研究機構 半導体材料センター
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細井 卓治
大阪大学
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松木 武雄
半導体先端テクノロジーズ(selete)
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足立 哲也
物質・材料研究機構
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石川 大
半導体先端テクノロジーズ(selete)
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大路 譲
(株)半導体先端テクノロジーズ
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諸岡 哲
半導体先端テクノロジーズ(selete)
-
渡部 平司
大阪大学大学院工学研究科
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大路 譲
(株)半導体先端テクノロジーズ(selete)
-
大路 譲
半導体先端テクノロジーズ
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山部 紀久夫
筑波大学
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中島 清美
物質・材料研究機構
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石川 恵子
物質・材料研究機構
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網中 敏夫
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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細井 卓治
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
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知京 豊裕
物質・材料研究機構
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細井 卓治
大阪大学大学院工学研究科
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諸岡 哲
(株)東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発センター
著作論文
- Ru-Mo合金を用いた金属/high-k 絶縁膜ゲートスタックの実効仕事関数制御
- 金属/high-k絶縁膜構造トランジスタにおいて金属結晶が閾値電圧ばらつきに及ぼす影響とその抑制(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))