SiO_x薄膜への熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理によるSiナノ結晶形成とそのフローティングゲートメモリ応用

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概要

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• 2010-02-15

著者

• 宮崎 誠一

  広島大学大学院 先端物質科学研究科

• 東 清一郎

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 牧原 克典

  広大院先端研

• 牧原 克典

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 広重 康夫

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 宮崎 誠一

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 岡田 竜弥

  琉球大学 工学部

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