DC熱プラズマジェットを用いた超急速熱処理による非晶質シリコン膜の結晶化とそのTFT応用
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概要
著者
-
東 清一郎
広島大学大学院先端物質科学研究科
-
岡田 竜弥
広島大学大学院先端物質科学研究科
-
加久 博隆
広島大学大学院 先端物質科学研究科
-
岡田 竜弥
琉球大学工学部
-
加久 博隆
広島大学大学院先端物質科学研究科
-
岡田 竜弥
琉球大学 工学部
-
東 清一郎
広島大学大学院 先端物質科学研究科
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