RFスパッタ法により製膜したSiO_2及びSiN薄膜の電気特性評価

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概要

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• 2012-04-20

著者

• 野口 隆

  琉球大学工学部

• 岡田 竜弥

  琉球大学工学部

• 屋宜 佳佑

  琉球大学工学部

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