UV/可視ラマン分光法によるレーザー結晶化ポリシリコン薄膜の応力・結晶性の評価(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般)
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概要
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低温ポリシリコン(LTPS) 薄膜はシステムオングラス実現のためのキーマテリアルである。我々は、高精度・高空間分解能をもつラマン分光器を用いて種々の条件で作製されたLTPS薄膜の応力及び結晶性の詳細評価を行った。実験では、励起光に浸入長の異なる2波長 [λ=364nm(浸入長5nm),532nm(浸入長400nm)] を用いた試料の表および裏面からの測定で、最表面、基板界面、および膜全体の平均的な情報を分離したラマン分光解析を行った。結果、LTPSは膜表面、膜内部、界面付近で応力・結晶性が異なる分布を持つことがわかり、この分布はアニール条件で異なることがわかった。
- 2008-04-04
著者
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