Poly-Si TFTのS値としきい値に対するグレインサイズの影響

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概要

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• 2010-04-16

著者

• 大鉢 忠

  同志社大学工学部

• 野口 隆

  琉球大学工学部

• 大鉢 忠

  同志社大・理

• 大城 文明

  琉球大学工学部

• 坂本 明典

  琉球大学工学部

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