高性能ポリシリコンTFTに向けたスパッタ製膜したリンドープシリコン膜の結晶化
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概要
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- 2012-04-20
著者
-
大鉢 忠
同志社大学工学部
-
野口 隆
琉球大学工学部
-
鈴木 俊治
琉球大学工学部
-
岡田 竜弥
琉球大学工学部
-
佐保田 英司
日立コンピュータ機器(株)
-
白井 克弥
琉球大学工学部
-
松島 英紀
日立コンピュータ機器(株)
-
Mugiraneza J.
琉球大学工学部
-
西ノ原 拓磨
琉球大学工学部
-
荻野 義明
日立コンピュータ機器
-
橋本 隆夫
日立コンピュータ機器
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