屋宜 佳佑 | 琉球大学工学部

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概要

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• 同名の論文著者
• 琉球大学工学部の論文著者

関連著者

• 野口 隆

  琉球大学工学部

• 岡田 竜弥

  琉球大学工学部

• 屋宜 佳佑

  琉球大学工学部

著作論文

• RFスパッタ法により製膜したSiO_2及びSiN薄膜の電気特性評価(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
• RFスパッタ法により製膜したSiO_2及びSiN薄膜の電気特性評価(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
• RFスパッタ法により製膜したSiO_2及びSiN薄膜の電気特性評価

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