広重 康夫 | 広島大学大学院先端物質科学研究科
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概要
関連著者
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宮崎 誠一
広島大学大学院 先端物質科学研究科
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東 清一郎
広島大学大学院先端物質科学研究科
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広重 康夫
広島大学大学院先端物質科学研究科
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宮崎 誠一
広島大学大学院先端物質科学研究科
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牧原 克典
広島大学大学院先端物質科学研究科
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岡田 竜弥
琉球大学 工学部
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広大院先端研
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宮崎 誠一
広大院先端研
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宮崎 誠一
広大
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東 清一郎
広島大学大学院 先端物質科学研究科
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宮崎 誠一
広島大学大学院
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琉球大学工学部
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牧原 克典
広島大学大学院 先端物質科学研究科
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宮崎 祐介
広島大学大学院先端物質科学研究科
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松本 和也
広島大学大学院先端物質科学研究科
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松本 和也
広島大学大学院 先端物質科学研究科
著作論文
- SiO_x薄膜への熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理によるSiナノ結晶形成とそのフローティングゲートメモリ応用(ナノ材料・プロセス,機能ナノデバイス及び関連技術)
- SiOx薄膜への熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理によるSiナノ結晶形成とそのフローティングゲートメモリ応用(ナノ材料・プロセス,機能ナノデバイス及び関連技術)
- 熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理及びポストメタライゼーションアニールを用いた高品質SiO_2膜及びSiO_2/Si界面の形成(シリコン関連材料の作製と評価)
- SiO_x薄膜への熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理によるSiナノ結晶形成とそのフローティングゲートメモリ応用
- SiO_x薄膜への熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理によるSiナノ結晶形成とそのフローティングゲートメモリ応用