Cu_2Y/Siコンタクト系の熱的安定性とCuメタライゼーションへの適応性の検討
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概要
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- 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティの論文
- 1992-07-25
著者
-
野矢 厚
北見工業大学工学部電気電子工学科
-
野村 公一
北見工業大学工学部電子工学科
-
佐々木 克孝
北見工業大学
-
氏家 健二
北見工業大学工学部電子工学科
-
野矢 厚
北見工業大学工学部
-
野矢 厚
北見工業大学
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