Ta_2N 陽極酸化膜キャパシタの耐熱性と酸化膜厚
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概要
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Ta_2N陽極酸化膜キャパシタには熱劣化しにくいという特徴がある。その原因をオージェデプスプロファイルによって調べたところ、Ta_2N化合物膜自体の耐熱酸化性が大きいため、Ta膜に比べて下地層への酸素拡散が生じにくいためであることがわかった。また、より高温に保持した時に生じる劣化の原因には、酸化膜中の酸素原子が下地金属方向へ拡散することによって下地界面層が増大すると共に、A1上部電極が部分的に熱酸化する影響も寄与していることがわかった。Ta_2Nの耐熱酸化性が大きいという特徴から更なる薄膜化を検討した結果、化成電圧30Vまで低減した場合でも160V化成したTa陽極酸化膜キャパシタより耐熱的で、且つ3倍以上の容量を有するキャパシタの作製が可能なことがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-29
著者
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
野矢 厚
北見工業大学工学部電気電子工学科
-
川村 みどり
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
山根 美佐雄
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
Abe Yuji
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Y
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn
-
阿部 良夫
北見工業大学マテリアル工学科
-
佐々木 克孝
北見工業大学
-
川村 みどり
北見工業大学マテリアル工学科
-
野矢 厚
北見工業大学
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