Al_3Zr金属間化合物膜の陽極酸化とそれを応用した高信頼性薄膜キャパシタの作製
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概要
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陽極酸化膜を用いて薄膜キャパシタを作製する際,弁金属からなる化学量論的で低抵抗な金属間化合物を適用することで,高耐熱で高信頼性の陽極酸化膜キャパシタが実現できるものと期待される.そこでZrとAlの組合せに着目して,熱的に安定で化学量論的なAl_3Zr金属間化合物の陽極酸化膜キャパシタを作製し,キャパシタ特性や周波数特性及び漏れ電流特性を,酸化膜厚の低減効果と耐熱性の関連において検討した.その結果,本研究で用いたAl_3Zr陽極酸化膜は,低損失,高耐熱でかつ酸化膜厚の薄層化が可能であり,高信頼性薄膜キャパシタ用の誘電体材料として極めて有望なことがわかった.したがって,弁金属の組合せによる化学量論的な金属間化合物を陽極酸化膜キャパシタの原材料とする着想は,薄膜キャパシタを作製する上で,有用な材料設計指針といえる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-10-25
著者
-
佐々木 克孝
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
佐々木 克孝
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
柳沢 英人
北見工業大学工学部能材料工学科
-
阿部 良夫
北見工業大学工学部能材料工学科
-
川村 みどり
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
山根 美佐雄
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
柳沢 英人
北見工業大学
-
Abe Yuji
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Y
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn
-
Kamijyo Masahiro
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
阿部 良夫
北見工業大学マテリアル工学科
-
川村 みどり
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
稲田 晴久
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
佐々木 克孝
北見工業大学
-
稲田 晴久
北見工業大学工学部機能材料工学科:(現)富士通東北海道システムエンジニアリング
-
川村 みどり
北見工業大学マテリアル工学科
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