Al_3Hf陽極酸化膜キャパシタの電気的特性と耐熱特性
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概要
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陽極酸化皮膜を用いた薄膜キャパシタとしては, Ta陽極酸化膜キャパシタが代表的な材料として知られているが, 熱劣化しやすいという欠点がある。そこで我々はより高温域まで耐熱的な特徴を保持できるような薄膜キャパシタ材料として, Ta_2N化合物や, 薄層化を図ったAl/Hf交互連続積層膜等の陽極酸化膜を検討し, 耐熱性の向上を図れることを報告してきた。特にAl/Hf交互連続積層膜の薄層化の極限は均一なAl-Hf合金膜であり, 一般にAl-遷移金属の金属間化合物は高温での酸化耐性に優れていることが知られているので, Al_3Hfの陽極酸化膜を薄膜キャパシタとすれば更に優れた耐熱性が期待できる。そこで本研究では, Al_3Hf合金陽極酸化膜キャパシタを作製し, その耐熱性を調べた結果, 著しく耐熱性を向上できることが明らかとなったので以下に報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
尾関 雅彦
松尾電機株式会社
-
佐々木 克孝
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
阿部 良夫
北見工業大学工学部能材料工学科
-
川村 みどり
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
山根 美佐雄
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
Abe Yuji
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Y
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn
-
尾関 雅彦
北見工業大学
-
Kamijyo Masahiro
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
阿部 良夫
北見工業大学マテリアル工学科
-
川村 みどり
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
佐々木 克孝
北見工業大学
-
川村 みどり
北見工業大学マテリアル工学科
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