Nb/Hf 2層陽極酸化膜キャパシタの電気的特性
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概要
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Nb陽極酸化膜キャパシタの電気的特性を改善するために,Nb/Hf 2層膜を陽極酸化したキャパシタを作製した結果,上層Nb/下層Hfの2層陽極酸化膜キャパシタでtan δを0.01以下の値に維持した比較的高誘電率なキャパシタを得ることができた.また,この2層構造のキャパシタは,300℃の熱処理温度でtan δが0.008程度まで低減される.
- 2003-01-01
著者
-
佐々木 克孝
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
鈴木 晋之介
旭川工業高等専門学校電気工学科
-
土橋 剛
旭川工業高等専門学校電気工学科
-
土橋 剛
旭川工業高等専門学校電気情報工学科
-
土橋 剛
旭川工業高等専門学校
-
佐々木 克孝
北見工業大学
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