バルブ金属(Hf,Zr,Nb,Ta)2層陽極酸化膜キャパシタの損失特性と拡散現象の検討
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概要
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(Hf,Zr)を上層,(Nb,Ta)を下層に組み合わせた2層膜を陽極酸化して作製した2層キャパシタの損失特性と構成元素の拡散現象を調べた結果,Hf/Nb 2層陽極酸化膜においてのみ下層金属元素の上層酸化膜中への拡散が見られ,他の組合せでは下層金属元素の拡散は抑制され,Hf/Ta 2層陽極酸化膜で最も低損失(tanδ=0.004)なキャパシタが得られた.
- 2009-06-01
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