Ta-Zr合金による陽極酸化膜キャパシタの電気的特性に及ぼす熱処理温度と酸化膜厚低減の影響
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概要
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Ta_2Nを用いた陽極酸化膜キャパシタは,耐熱性の向上を図れるが比誘電率の低下を伴うので,このことを回避するため,Ta-Zr合金の陽極酸化膜キャパシタを作製し,その電気的特性に及ぼす熱処理温度の影響と,酸化膜厚を低減させた際にもTa_2N陽極酸化膜キャパシタの場合と同様に低損失なキャパシタが実現可能か否かを検討した.その結果,Ta_2Nの場合とは異なり比誘電率の低下を生じることなく耐熱性の向上が可能となり,かつ酸化膜厚を低減させても,Ta_2Nの場合と同等以上に低損失なキャパシタが得られることがわかった.したがって,低損失,高耐熱でかつ高誘電率という特徴を兼ね備えた,高信頼性の陽極酸化膜キャパシタを実現する上で,Ta-Zr合金膜は有用な材料と結論できる.
- 2002-06-01
著者
-
佐々木 克孝
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
佐々木 克孝
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
渡辺 大輔
東京工業高等専門学校専攻科
-
渡邊 大介
東京工業高等専門学校専攻科
-
阿部 良夫
北見工業大学工学部能材料工学科
-
山根 美佐雄
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
Abe Yuji
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Y
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn
-
渡邊 大介
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
後藤 智利
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
Abe Yoichi
Department Of Applied Science Tokyo Electrical Engineering College
-
阿部 良夫
北見工業大学マテリアル工学科
-
佐々木 克孝
北見工業大学
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