Al_3Zr金属間化合物膜の結晶化過程とその電気的特性について
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概要
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Al_3Zr金属間化合物膜の結晶化過程を検討した結果,この金属間化合物はアモルファス相がまず構造緩和を示すと共にアモルファス相中に準安定な立方晶Al_3Zrの微結晶粒が析出し,次に膜全体が準安定相に結晶化し,その後安定相である正方晶のAl_3Zrに至るというアモルファス合金の典型的な結晶化過程を経ることがわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-02-25
著者
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