Al_3Hf金属間化合物膜の結晶化過程と電気的特性
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概要
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アモルファス状Al-Hf合金膜のAl_3Hf金属間化合物膜への結晶化過程を検討した. その結果, この金属間化合物はアモルファス相の構造緩和, 準安定相(立方晶Al_3Hf)の析出, 安定相(正方晶Al_3Hf)の形成というアモルファス合金の典型的な結晶化過程を経ることがわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-09-25
著者
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
佐々木 克孝
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
柳沢 英人
北見工業大学工学部能材料工学科
-
阿部 良夫
北見工業大学工学部能材料工学科
-
川村 みどり
北見工業大学工学部機能材料工学科
-
柳沢 英人
北見工業大学
-
Abe Yuji
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Y
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn
-
新海 聡子
詫間電波高専
-
Kamijyo Masahiro
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
阿部 良夫
北見工業大学マテリアル工学科
-
川村 みどり
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
新海 聡子
北見工業大学 工学部 機能材料工学科
-
佐々木 克孝
北見工業大学
-
川村 みどり
北見工業大学マテリアル工学科
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