Study on Preparation Conditions of High-Quality ZrN Thin Films Using a Low-Temperature Process
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1998-10-15
著者
-
阿部 良夫
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
笹木 敬司
北海道大学電子科学研究所
-
Yanagisawa H
Nhk Sci. And Technical Res. Lab. Tokyo Jpn
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Yanagisawa H
Kitami Inst. Technol. Kitami Jpn
-
Abe Yuji
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Abe Y
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn
-
ABE Yoshio
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
KAWAMURA Midori
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
SASAKI Katsutaka
Department of Materials Science, Kitami Institute of Technology
-
SHINKAI Satoko
Department of Materials Science, Faculty of Engineering, Kitami Institute of Technology
-
YANAGISAWA Hideto
Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Kitami Institute of Tec
-
Shinkai S
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Shinkai Satoko
Research Fellow Of The Japan Society For The Promotion Of Science
-
Shinkai Satoko
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Kamijyo Masahiro
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Abe Yoshio
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
川村 みどり
Department Of Materials Science Kitami Institute Of Technology
-
Sasaki Katsutaka
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Techn
-
Yanagisawa Hideto
Department Of Electrical And Electronic Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Kawamura Midori
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Abe Yoshio
Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering, Kitami Institute of Technology, 165 Koen-cho, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan
-
Kawamura Midori
Department of Materials Science and Engineering, Kitami Institute of Technology, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan
-
Shinkai Satoko
Department of Control Engineering, Takuma National College of Technology, 551 Koda, Takuma-cho, Kagawa 769-1192, Japan
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